扬州企业研发半导体制造设备取得新突破

扬州企业研发半导体制造设备取得新突破。近日，记者从扬州思普尔科技有限公司获悉，该公司已完成涂胶机、显影机、等离子去胶机样机的制造，正进行工艺实测，预计6月正式量产。总经理张桂阳介绍：“扩散炉、清洗机的研发已接近尾声，预计7月出样机。”

研发出半导体制造设备，是我市电子信息制造产业扩链补链强链的最新突破。半导体产业不仅是电子信息制造产业的“皇冠”，也是工业转型升级和经济社会智能化发展的基石，分为集成电路、分立器件(特色工艺集成电路)、光电子器件和传感器件等类别。近年来，随着一批技改项目上马和招商引资企业落户，我市电子信息制造产业正在加快扩链补链强链步伐。

突破“卡脖子”技术，这家企业研发出系列半导体制造设备

制造设备是半导体产业链国产化率最低的环节之一。思普尔科技能够突破“卡脖子”技术，缘于在行业内久久为功的深耕，以及与韩国一家技术团队的合作。

思普尔科技2011年成立，从事半导体制造设备的研发、生产与技术服务，核心成员曾在国内知名科研院所和海外半导体机构担任研发高管，具有丰富的工厂化技术实践经验。近年来，随着国家大力发展半导体产业，思普尔科技迎来爆发式增长，2018年销售1500万元，去年销售已过亿元。

2019年11月，思普尔科技与韩国一家技术团队签订协议，立项研发芯片制造设备，计划今年实现产业化。“我们的产品可替代进口设备，用于制造6英寸、8英寸和12英寸芯片。”张桂阳介绍，“此前，我们和韩国技术团队各负责一部分，零部件在扬州完成组装。通过接触后，双方决定深度合作，在扬州成立合资公司，韩国10名研发人员将于7月来扬工作。”

目前，思普尔科技正在加快扩大产能。今年3月，思普尔科技与扬州高新区签约，分三期投资上马半导体设备研发制造及6英寸芯片实验线项目：一期计划今年10月建成并投入使用;二期将加强自主研发和技术引进，制造注入机、光刻机、金属溅射台、深槽刻蚀机，预计2023年12月底前实施到位;三期将建设特殊工艺的芯片生产线及成品封装生产线。

思普尔科技的发展脉动，是我市半导体产业不断补链的生动掠影。今年4月，在江都经开区，等离子集成电路清洗设备项目正式投产，填补了我市半导体清洗(净化)设备制造的空白;去年下半年，在维扬经开区，扬州摩笛尔电子材料有限公司完成三氟碘甲烷气体的中试，填补了我市半导体制造基础性材料——高纯度电子气体制造的空白……

开工项目数占比近1/3，电子信息制造产业加快扩链补链强链

经过多年发展，我市企业在分立器件、无线射频标签、传感器件、新型显示等细分领域形成了一定的比较优势，涌现出一批头部企业：扬杰电子连续两年在国内功率器件(属半导体分立器件类)制造领域排名前两位，川奇光电引领全球电子纸技术，无线射频标签年产量持续保持全球第二、亚洲第一，奥力威的车用油量传感器市场规模国内第一……

在分立器件制造企业中，扬州既有名宿也有新秀。晶新微电子和四菱电子的发展最早可追溯到上世纪60年代;扬杰电子于2006年成立，近年来依托资本市场，加快项目布局，已成长为行业领军企业。去年上半年，扬杰电子开工建设8英寸晶圆和集成电路封测项目，开始向高端功率器件领域进军。

扬杰电子新上技改项目，是全市电子信息制造产业规模快速扩张的生动案例。近年来，随着市场需求不断扩大，我市电子信息制造项目开工数量明显增加，产业规模正在不断扩大。

据统计，2019年至今年一季度，全市共有22个电子信息制造项目开工，其中2019年、2020年分别开工7个项目，今年一季度开工8个项目。一季度投资额最大的是磷酸铁锂离子储能电池基地三期，由江苏中兴派能电池有限公司总投资15亿元建设。

此外，在光伏产业中，一批重大项目相继开工建设也在加速产业集聚。据统计，2019年至今年一季度，全市共有12个重大项目开工。其中今年一季度有3个项目开工，投资额最大的是2.5GW光伏组件生产线技术改造项目，由中环艾能(高邮)能源科技有限公司投资20亿元建设。

据统计，2019年至今年一季度，在新开工制造业重大项目(含技改)中，电子信息制造业项目占比接近三分之一。

抢抓产业发展风口，打造特色工艺集成电路“芯”高地

据了解，我市电子信息制造产业拥有规上企业超过300家，2020年主营业务收入接近900亿元。

梳理产业布局，各个板块定位鲜明：邗江区扬州微电子产业园、市开发区新光源产业园和光伏产业园、高邮“中国路灯制造基地”和光储充产业园、仪征市中兴派能储能电池产业园、宝应县智能终端产业园、江都区创维智能显示产业园……一批新老专业园区相互补充，正在形成相对健全的产业生态。

一个个正在进行的技术攻关项目，不但彰显着企业科技创新的活力，更为产业高质量发展蓄势赋能：围绕5G应用场景，扬企正在研发5G基站高稳定电容器用电极箔、5G无源器件;围绕精准3D人脸识别，扬企正在研发光引擎用核心组件;围绕多个消费应用场景，扬企正在研发超小尺寸芯片、适用于多介质表面贴附的无线射频识别标签……

当前，电子信息制造产业的市场需求不断扩大，第四次工业革命到来，新基建、“碳达峰、碳中和”等国家战略加快部署，电子信息制造产业迎来加速发展的机遇期。电子信息制造产业技术更新快、资金需求大、人才要求高、投资回报周期长，下一步我市将采取哪些措施，精准助力产业高质量发展?

“在扬州微电子产业园，引导企业依托半导体功率器件中试平台，主攻中端功率器件和高端分立器件，打造特色工艺集成电路‘芯’高地。”市工信局有关负责人介绍，同时，加快完善储能电池产业生态。结合我市锂离子电池产业储能产品强于动力产品的现状，积极引进科技含量更高、技术更先进的龙头企业的项目。积极向上争取国网储能试点示范应用项目在我市落地，为我市企业产品开拓市场创造条件。

“我市将引导企业聚焦新技术新应用，持续扩大光伏产业规模。”该负责人介绍，以高邮市光储充产业园、市开发区扬州光伏新能源特色产业基地为载体，通过招引企业落户和上马技改项目，加快上下游配套项目集聚。(记者 嵇尚东)

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